Με την εξέλιξη των σημερινών αισθητήρων, η μικροποίηση, η ευφυΐα και η ολοκλήρωση είναι ο μόνος τρόπος για την αναβάθμιση.

Τι είναι ένας αισθητήρας MEMS ?

Το πλήρες όνομα του MEMS είναι Μικροηλεκτρομηχανικό Σύστημα.,Μικροενεργοποιητής, κύκλος επεξεργασίας και ελέγχου σήματος, διεπαφή, επικοινωνία και παροχή ενέργειας σε ένα ή περισσότερα τσιπ.Ο αισθητήρας MEMS είναι ένας νέος τύπος αισθητήρα που κατασκευάζεται από τεχνολογία μικροηλεκτρονικών και μικρομηχανών.

Το MEMS είναι μια προηγμένη τεχνολογία κατασκευής που αναπτύχθηκε με βάση την τεχνολογία κατασκευής ημιαγωγών με παραδοσιακή τεχνολογία και υλικά ημιαγωγών.MEMS που περιλαμβάνουν κυρίως τεχνολογία μικροεπεξεργασίαςΜετά από περισσότερα από 40 χρόνια ανάπτυξης, η εταιρεία έχει αναπτύξει μια νέα τεχνολογία, την οποία ονομάζει "Ευρωπαϊκή Εταιρεία Επιστήμης".έχει γίνει ένα από τα σημαντικότερα επιστημονικά και τεχνολογικά πεδία που προσελκύουν παγκόσμια προσοχή.

Εφαρμοσμένα υλικά:

Υλικά με βάση το πυρίτιο: Οι περισσότερες πρώτες ύλες των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και των MEMS είναι το πυρίτιο (Si), το οποίο μπορεί να εξαχθεί σε μεγάλες ποσότητες από το διοξείδιο του πυριτίου.Για να γίνω πιο δημοφιλήςΜετά από μια σειρά από πολύπλοκες επεξεργασίες, η άμμος έγινε μονοκρυσταλλικό πυρίτιο.

Το υλικό που αποτελείται κυρίως από πυρίτιο έχει εξαιρετικές ηλεκτρικές ιδιότητες.και τη θερμική αγωγιμότητα στο μολυβδένιο και το βόλφραμΕάν η έκταση ενός ενιαίου τσιπ αισθητήρα MEMS είναι 5 mm x 5 mm, ένα 8 ιντσών (20 cm διάμετρος) πλακάκι μπορεί να κόψει περίπου 1000 γυροσκόπια τσιπ MEMS και το κόστος που κατανέμεται σε κάθε τσιπ μπορεί να μειωθεί σημαντικά.

Μη πυριτίδια υλικά: Τα τελευταία χρόνια, η εφαρμογή των υλικών του MEMS έχει σταδιακά αντικατασταθεί από μη πυριτίδια υλικά.Οι ακαδημαϊκοί ερευνητές επικεντρώνονται τώρα στην ανάπτυξη μικροεξοπλισμάτων με βάση τα πολυμερή και το χαρτίΟι συσκευές που αναπτύσσονται με αυτά τα υλικά δεν είναι μόνο φιλικές προς το περιβάλλον, αλλά και απλές στην κατασκευή εξοπλισμού και χαμηλού κόστους.έχουν μειώσει σημαντικά τον προϋπολογισμό Ε&ΑΠολλές καινοτομίες στις μικροεργασίες με βάση τα πολυμερή και τα χαρτιά δείχνουν ιατρικές εφαρμογές.

Η ανάπτυξη της λειτουργίας και των επιδόσεων των μικροεξοπλισμών χάρτου και πολυμερών βρίσκεται ακόμη σε σχετικά πρώιμο στάδιο και οι εγκαταστάσεις παραγωγής για τέτοιες συσκευές δεν έχουν ακόμη αναπτυχθεί.Η ωριμότητα και η εμπορευματοποίηση αυτών των νέων τεχνολογιών μπορεί να διαρκέσουν περισσότερο από 10 χρόνιαΕπομένως, υπάρχει ακόμη πολύ καινοτόμο έργο που πρέπει να γίνει στην έρευνα μικροεπιχειρήσεων με βάση τα υλικά του πυριτίου.

Τεχνικά πλεονεκτήματα

Η τεχνολογία MEMS χρησιμοποιείται για την κατασκευή αισθητήρων, ενεργοποιητών ή μικροδομών, η οποία έχει τα χαρακτηριστικά της μικρογραφίας, της ολοκλήρωσης, της ευφυΐας, του χαμηλού κόστους, της υψηλής απόδοσης,μαζική παραγωγή και υψηλή παραγωγικότηταΗ τεχνολογία MEMS κάνει δεκάδες χιλιάδες MEMS τσιπ (μερικές διαδικασίες βάζουν επίσης τσιπ ολοκληρωμένου κυκλώματος στο ίδιο βήμα) να εμφανίζονται σε κάθε πλακέτα.

Αυτή η διαδικασία παρτίδας έχει πλέον αυτοματοποιηθεί πλήρως, απομονώνοντας τους ανθρώπινους παράγοντες, εξασφαλίζοντας ότι το σφάλμα της διαδικασίας μεταξύ κάθε τσιπ MEMS μπορεί να ελεγχθεί αυστηρά, βελτιώνοντας έτσι την απόδοση.Μετά την κοπή και συσκευασίαΑπό την εμφάνιση, τα περισσότερα MEMS τσιπ και τα τσιπ ολοκληρωμένου κυκλώματος είναι παρόμοια.

Συνοπτικά, το χαρακτηριστικό μέγεθος του μικρομετρίου μεγέθους επιτρέπει στους αισθητήρες MEMS να ολοκληρώνουν ορισμένες λειτουργίες που δεν μπορούν να επιτευχθούν από παραδοσιακούς μηχανικούς αισθητήρες.Είναι η κύρια δύναμη των μικροαισθητήρων και αντικαθιστά σταδιακά τους παραδοσιακούς μηχανικούς αισθητήρεςΤο υλικό αυτό χρησιμοποιείται ευρέως σε καταναλωτικά ηλεκτρονικά προϊόντα, αυτοκινητοβιομηχανία, αεροδιαστημική βιομηχανία, μηχανήματα, χημική βιομηχανία, ιατρική και άλλους τομείς.Γυροσκόπια, και καταλυτικούς αισθητήρες.